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產品型號

SE-VM光譜橢偏儀

主要特點

1、采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)

2、高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現Psi/Delta光譜數據高速采集

3、支持系列配置靈活，可根據不同應用場景支持多功能模塊化定制

4、數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術參數

1、自動化程度：手動變角

2、應用定位：通用型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

4、分析光譜380-1000nm(可擴至210-1650nm)

5、單次測量時間：0.5-5s

6、重復性測量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm

8、入射角調節方式：手動變角

9、入射角范圍：55-75°(5°步進),90°

10、找焦方式：手動找焦

11、Mapping行程：不支持

12、支持樣件尺寸：大至180mm

可選配件

1

溫控臺

2

Mapping擴展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件