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產品型號

  雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

主要特點

  1、采用高純Al₂O₃保溫材料，保證了爐膛有*的溫度均勻性，內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以　

        提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

  2、設有雙石英管，金屬箔纏繞在內管的外表面上，以發生CVD反應。

  3、雙管的真空密封法蘭允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發生反應，冷卻氣體直接通入內管。

  4、配有四通道質量流量計控制4路氣體，及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。

  5、底部設有滑軌，爐子可以從一端滑向另一端，從而實現快速升溫和降溫。

  6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。

技術參數

  1、電源：單相208-240V AC  50/60Hz  2.5KW（20A保險絲）

  2、石英管：外管外徑Φ100mm，內徑Φ96mm，長1400mm

                        內管外徑Φ80mm，內徑Φ75mm，長1400mm

  3、加熱區：440mm

  4、恒溫區：120mm（雙溫區爐可獲得240mm）

  5、工作溫度：zui高溫度1100℃，連續溫度1000℃

  6、控溫精度：±1℃

  7、升降溫速度：在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率

  8、真空度：10^-3torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

  9、真空法蘭：SS304不銹鋼，配有兩個高溫O型圈密封

  10、流量計：4路精密質子流量計，氣體流量自動控制（數字顯示）

                          MFC1范圍0-100sccm    MFC2范圍0-200sccm

                          MFC3范圍0-200sccm    MFC4范圍0-500sccm

  11、流量精度：0.2%

  12、進出氣口：1/4″卡套

產品規格

  尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg

可選配件

  1、銅箔（150m×150mm×25µm，生長石墨烯用）

  2、防腐型數字真空計