金屬密封熱式流量控制器 半導體流量控制器特點：

●長明零點穩定性，每年變動小于滿量程的0.2%

●能夠根據命令變化在 3秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計

●流量范圍究 -3 sccm至高達30,000 slpm

●高壓額定值-高達1,500 psi

●可選增強型內部后處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)

●可拆卸式流量傳感器

●不受安裝角度影響

●其他質量流量控制器在機城和電設計方面兼容

●TTL兼容型閥關團和吹掃功能

金屬密封熱式流量控制器 半導體流量控制器優勢：

●全金屬流路可確保件純度并降低范流風險；

●在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性；

●由于性能可靠， 因此投資回報率出眾；

●采用可拆卸式流量傳感器，因此無霧對氣壓進行連續監測和重新調節；

●由于慢擬量僅為輸入輸出，因此易于安裝和保養。

產品應用：

●光端機

●LED/MOCVD

●半與體

●太陽能