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| 產地類別 | 進口 | 超聲頻率 | 40KHzKHZ |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5萬-10萬 | 容積 | 10.5L,29.5LL |
| 儀器種類 | 通用型 | 應用領域 | 化工,能源,建材,電子,綜合 |
| 振蕩頻率 | 40KHz |
在該方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗半導體晶片。
與間歇式清洗和流水式清洗相比，可以減少化學藥品的使用量，而且由于接液部分僅為石英玻璃，不接觸填料等橡膠材料，因此可以保持較高的清潔度...
此外，通過根據目的準備石英振動體的形狀，可以滿足低損傷清洗、大
產品簡介
詳細介紹
日本HONDA本多進口石英超聲波清洗機晶圓
W-357-1MQG-SKC
過根據目的準備石英振動體的形狀，可以滿足低損傷清洗、大面積清洗、斜面部分（端面）和缺口（晶片端面切口）清洗等需求。 ). 它可以實現有效的清潔。
特點功能：
晶片的小型化、損傷低
的清洗
■ 通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗
半導體晶片 通過化學溶液從石英振動體向半導體晶片傳播超聲波振動，接觸部分的化學溶液振動并它的加速會清除表面的污垢。
■ 實現對半導體晶片的損傷少的清潔清洗 與
化學品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進行清潔清洗。
■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振蕩器，可以穩定地連續運行而不會發生頻率波動。
此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
用途：
去除抗蝕劑殘留物
磨邊和灰化后去除聚合物
柵電極清洗
CMP 后清洗
日本HONDA本多進口石英超聲波清洗機晶圓 規格參數：
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