產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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產品簡介
詳細介紹
離子棒SIMCO思美高快速消除靜電
5635MP
Simco-lon Aerobar 5635 MP離子棒能提供快速靜電消散,低殘余電壓擺幅,和精準的離子平衡,是設計用于有嚴格要求的半導體和超高潔凈制程環境。它采用MP技術-把高頻正弦周波和調制脈沖結合-產生高輸出量的離子和把它們推送至目標表面,這技術的突破使5635MP離子棒能安裝在晶圓的15cm距離內。同時配合超高潔凈的靜電針和精確的參數整,使它能達到ISO14644-12 (0.01 μm或納米等級微粒)和ISO 14644-1 Class 1 (0.1μm微粒)的潔凈度。選配的吹氣輔助功能,在潔凈要求不高的環境,能加快離子的推送,得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。
離子風棒是種固定式的靜電消除專用的設備。其屬于棒式除靜電產品中的一種。其擁有工作安全穩定、安裝簡易、去除靜電速度較快等特點。目前主要作用于電子、絲印、塑膠、圖像處理、印前系統之類的行業。
●ISO 14644- 12 (0.01 um微粒)潔凈度
●調制脈沖技術
●合適的橫向均勻度
●低電場電壓
●吹氣輔助功能
●選配的軟件有易用的界面和寬闊的可調性
●警報輸出信號
優點
●可兼容包括14 nm和以下的所有晶圓技術
●精準的正負平衡,和長期穩定高離子輸出量
●整根棒的離子平衡都- -致
●可安全靠近晶圓或光罩,放置距離可近至15 cm
●在快速的自動設備,能增強消除靜電的能力
●在任何環境都能快速設定和容易調至最佳效能
●能輸出至設備或遠端監控系統
產品圖片
離子棒SIMCO思美高快速消除靜電