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目錄:北京格微儀器有限公司>>離子濺射儀>> GVC-2000P磁控離子濺射儀

磁控離子濺射儀
  • 磁控離子濺射儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) GVC-2000P
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2024-11-07 15:05:25瀏覽次數(shù):3975評(píng)價(jià)

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GVC-2000P磁控離子濺射儀一鍵操作,具備工作完成提示音;鍍膜顆粒小,無(wú)熱損傷;靶材更換非常簡(jiǎn)單。

磁控離子濺射儀

GVC-2000P磁控離子濺射儀產(chǎn)品特點(diǎn):
1、一鍵操作,具備工作完成提示音。
2、鍍膜顆粒小,無(wú)熱損傷。
3、靶材更換非常簡(jiǎn)單。
4、特殊密封結(jié)構(gòu),玻璃不易損壞。
5、內(nèi)置操作向?qū)В瑹o(wú)需培訓(xùn)即可熟練操作。

主要參數(shù)

外形尺寸

420(L)×330(D)×335(H)

濺射靶頭

平面磁控靶

可用靶材

Au、Pt、Ag、Cu等

靶材尺寸

φ57×0.12mm

真空室

高硅硼玻璃 ~φ200×130mm

工作介質(zhì)

空氣或氬氣

樣品臺(tái)

φ125mm

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

4-20rpm可調(diào)

真空泵

旋片泵(可選配干泵)

抽速

1.1L/s

真空測(cè)量

皮拉尼式真空規(guī)管

工作真空

4-20Pa

極限真空

≤1Pa

工作電流

0-100mA連續(xù)可調(diào)

顯示屏

7英寸 800×480 彩色觸摸屏

工作時(shí)間

1-999s連續(xù)可調(diào)

進(jìn)氣

自動(dòng)

放氣

自動(dòng)



磁控離子濺射儀     磁控離子濺射儀

金顆粒尺寸(硅片噴金)                       電池隔膜10萬(wàn)倍(噴鉑)

GVC-2000P磁控離子濺射儀技術(shù)方案

1. 采用平面磁控濺射靶頭進(jìn)行靶材濺射,以確保工作過(guò)程樣品不會(huì)發(fā)生熱損傷。

2. 采用ARM作為處理器,全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),擴(kuò)展性好,可選配:

a) 膜厚監(jiān)控組件:可預(yù)設(shè)期望鍍膜厚度,在工作過(guò)程中精確控制鍍膜厚度;

b) 樣品臺(tái)加熱組件:可通過(guò)加熱提高膜層的致密性以及與基地的結(jié)合力。

3. 7英寸觸摸式液晶顯示屏,分辨率為800×480,全數(shù)字顯示;

3.1 可設(shè)定:(1)濺射電流;(2)濺射時(shí)間;(3)靶材種類(lèi);(4)工作真空度;(5)工作氣體;(6)屏幕亮度等參數(shù);

3.2 可顯示:(1)濺射電流;(2)濺射剩余時(shí)間;(3)工作真空度;(4)靶材累計(jì)使用時(shí)間;(5)設(shè)備累計(jì)使用時(shí)間等參數(shù)。

4. 濺射電流:2-100mA連續(xù)可調(diào),最小步長(zhǎng)為1mA;

5. 濺射時(shí)長(zhǎng):1-999s連續(xù)可調(diào),最小步長(zhǎng)為1s

6. 濺射真空:4-20Pa連續(xù)可調(diào),最小步長(zhǎng)為0.1Pa

7. 濺射靶材:標(biāo)配為高純鉑靶(純度4N9),規(guī)格為φ57×0.12mm;也可使用金、銀、銅、金鈀合金等金屬作為濺射靶材;

8. 真空室:采用高透光性的高硅硼玻璃,尺寸約為φ200×130mm;

9. 樣品臺(tái):可自轉(zhuǎn)的不銹鋼樣品臺(tái),直徑為φ125mm,轉(zhuǎn)速4-20rpm可調(diào);

10. 靶材參數(shù):系統(tǒng)提供金、鉑、銀、銅對(duì)于空氣和氬氣的工作參數(shù),可直接使用。同時(shí)提供4種自定義靶材,用戶可根據(jù)自己需求設(shè)定工作參數(shù);

11. 預(yù)濺射:具有全自動(dòng)控制的預(yù)濺射擋板,確保工作過(guò)程穩(wěn)定可靠;

12. 一鍵操作:系統(tǒng)可自動(dòng)完成抽氣、充氣、參數(shù)調(diào)整、預(yù)濺射、濺射鍍膜等工作過(guò)程;濺射完成后,關(guān)閉真空泵,系統(tǒng)自動(dòng)充氣使真空室內(nèi)外壓力平衡;

13. 具備濺射電流和真空度雙重互鎖,安全可靠,任一條件觸發(fā),系統(tǒng)即可停止工作,防止因?yàn)檎`操作導(dǎo)致設(shè)備損壞;

14. 系統(tǒng)采用皮拉尼真空規(guī)作為真空測(cè)量元件;

15. 極限真空優(yōu)于1Pa,真空泵抽速為1.1L/s;

16. 具備實(shí)時(shí)曲線顯示濺射電流和真空度功能非常方便用戶了解系統(tǒng)工作狀態(tài);

17. 采用專(zhuān)業(yè)的靶材更換結(jié)構(gòu),無(wú)需任何工具,即可實(shí)現(xiàn)快速更換靶材;

18. 儀器供電:AC220±10%V,額定功率500W。



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