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靶材為什要測量密度?秒準靶材密度計的優勢在哪里?
靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落。
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
靶材在生產制造的過程中需要對其密度進行測試,采用的方法是阿基米德原理,儀器自動計算出靶材密度g/cm3。目前生產的測試采用人工對靶材進行測量,由于靶材重量大,操作不便,不利于手動計算測試密度。因此需要一種專用密度儀進行操作。因此解決這一問題就顯得十分必要。
如何測量靶材的密度?ITO靶材密度計大量程密度比重儀 測試儀
陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理:根據ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可適用于采用阿基米德原理浮力法,準確直讀量測數值。
秒準靶材密度計經過市場10幾年的驗證以及不斷的研發升級,現已具備以下特點:
1、數顯直讀,無需人工計算,直接顯示密度和體積等參數。
2、全彩7寸觸摸屏操作,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱物料編碼的數據報告。
3、采用梅特勒傳感器,測量精準、操作簡便、穩定耐用。
4、具有實際水溫補償功能,可適應測試環境變化。
5、可設定媒介液密度,使用水作介質,也可使用其它液體介質。
6、采用SUS304一體水槽,耐腐蝕耐摔,底部設計靜音萬向輪,便于移動。
7、含USB通信接口,方便與電腦連接。
8、內置靜音排水系統,方便換水。
功能描述:
1、直接讀取靶材工件的密度和體積。
特別備注:秒準靶材密度計支持非標定制,已經為多家用戶實現自動化密度測試儀非標定制,搭配機械手/吊機,自動完成密度測試,自動輸出數據。
技術參數:ITO靶材密度計大量程密度比重儀 測試儀
品牌 | MAYZUM(保修期:三年) | |||
型號 | MAY-AE10 | MAY-AE30 | MAY-AE50 | MAY-AE80 |
最大稱重 | 0.1g-10kg | 0.1g-30kg | 0.5g-50kg | 2g-80kg |
密度精度 | 0.001 g/cm3 | |||
密度范圍 | 0.001~99.999g/cm3 | |||
水槽尺寸 | 水槽尺寸:1.2*1*1.2m(長寬高),依據客戶工件尺寸定制最終尺寸 | |||
測量時間 | 約5秒 | |||
測量步驟 | 放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,并打印數據報告。 | |||
結果顯示 | 密度,體積,比重值 | |||
參數設定 | 水溫設定、媒介液體密度設定 | |||
校正方式 | 一鍵自動校正 | |||
輸出方式 | RS-232C標準通信接口、方便測試數據輸出與打印 | |||
溫濕度范圍 | 允許環境溫度:0~45℃;允許相對濕度:80%以內 | |||
電 源 | AC~220V / 50HZ(出口電源需定制,訂貨前提前注明即可) | |||
操作面板 | 7寸觸摸屏 | |||
標準配件 | ①主機一臺、②測量組件一套、③電源變壓器一個、④打印紙1卷 |
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