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是德keysight 10775A 長距離直線度光器件

HIGHLIGHTS

Keysight 10775A 結合了直線度干涉儀和反射鏡，可在 1 至 30 米（3 英尺至 100 英尺）的行程距離內進行測量。該光器件構成了一個高精度的光學直尺，可以測量機床行程和坐標測量機運動的直線度，分辨率達到 0.1 微米（10 微英寸）。

除了 Keysight 10775A（與 Keysight 5530 激光校準系統配合使用）之外，您還可以使用其他許多元器件對干涉儀系統進行量身定制，以滿足各個應用的物理版圖和測量要求。

• 直線度測量精度
• 總體精度 = 光參考精度 + 測量精度
• 與使用直尺和指示器測量直線度的傳統方法類似，光參考精度相當于直尺精度，而測量精度相當于指示器精度
• 光參考精度
• 直尺（反射鏡）反轉技術可消除光參考不確定度
• 公制單位模式：±0.015 M2 µm
• 英制單位模式：±0.05 F2 µin
• 其中：
• M = 運動光器件的行程距離（單位：米）
• F = 運動光器件的行程距離（單位：英尺）
• 測量精度
• 溫度范圍顯示值：
• 0 µm 至 100 µm，100 至 1,500 µm
• 0 µm 至 4000 µm，4000 至 60,000 µm
• 15° C 至 25° C，±5% ±2.5% ±02.55 µm（10 µin）
• 0° C 至 40° C，±7.5% ±2.5% ±5 µm（20 µin）
• 直線度測量分辨率
• Keysight 5519A、Keysight 5519B
• 0.1 µm（4 µin）、36 µm（14 µin）
• 直線度測量范圍（正交至軸向移動）
• ±1.5 mm（0.060 英寸）
• 軸向分離（移動）
• （干涉儀和反射鏡之間的距離，典型值，經過恰當的對準，15°C 至 25°C）：1 m 至 30 m（3 英尺至 100 英尺）
• 對空氣擾動的靈敏度較低，可以提供高度精/確的測量
• 可與 Keysight 55283A 直線度測量套件配合使用，以擴展距離范圍
• 高分辨率平面鏡

是德keysight 10775A 長距離直線度光器件