應用領域 | 醫療衛生,環保,生物產業,農業 |
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產品簡介
詳細介紹
1、SPS旋涂儀結構:
* NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蝕結構)為整個系統提供更好的剛性和韌性
*高品質無縫制造表面,全工程塑料
*適用于通風柜和雜物箱
*大處理室直徑:202毫米
2、數字電機控制:
*具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋
*提供高精度的轉速(±0.1 rpm)和寬范圍的轉速(1至12,000 rpm),這是傳統PID電機控制器無法實現的
3、透明蓋:
淬火的透明玻璃瓶蓋,帶有注射器支架和N2擴散器,可在處理過程中進行N2吹掃
*注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質
*控制室環境對于恒定的過程結果至關重要
*堅固的自彈式蓋鉸鏈,可自動將蓋保持在好狀態,以便輕松搬運和卸下基板;同時確保蓋子上的任何殘留化學物質都流入系統排水口
*透明蓋清晰可見內部
4、SPIN150i旋涂儀安全聯鎖:
*Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定,并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開
*電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉,而真空聯鎖(可編程)在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉
*防止傷害使用者并避免基材破裂
5、連接:
*三個可編程繼電器輸出,可用于操作自動分配系統,外部閥或其他附件。
*多種夾頭可供選擇,用于直徑大為160 mm的不同尺寸的基板
*制氮過程中的氮氣擴散器
6、可拆卸控制器:可拆卸的全尺寸觸摸屏,手套防護,IP 52,耐化學腐蝕
7、彩色觸摸屏顯示:可輕松編程速度,加速度和時間
8、無限程序存儲:可用于多個步驟的配方,每個配方均適用于:
*時間:0.1至99999秒/步
*速度:0至12,000 rpm
*旋轉方向:順時針,逆時針,攪動
*加速/減速:1至30,000 rpm / sec(每步可選)
*真空開/關
*3個可編程的干觸點:例如用于分配單元,氮氣擴散器等的自動控制
9、USB端口:可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本
10、存儲:結構化和受密碼保護的方案存儲,可輕松安全地進行管理
SPS旋涂儀技術參數
大樣品尺寸: 160mm
大腔體直徑: 202mm
伺服控制馬達
程序數字處理控制器:
存儲50個程序,每個程序可設計99步菜單指令
轉速 1-12000 rpm
天然聚丙烯材質,對強腐蝕的化學試劑可選用聚四氟乙烯材質的勻膠機
配有防污染內襯,標配兩個大小吸盤
儀器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm