目錄:蘇州佳業凈化設備有限公司>>變壓吸附制氮設備>> 半導體行業制氮機
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,食品,化工,石油 |
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半導體行業用氮氣機,半導體行業用制氮機,半導體行業用氮氣機,半導體行業用制氮機
變壓吸附的原理是在吸附平衡情況下,任何一種吸附劑在吸附同一氣體時,氣體壓力越高,則吸附量越大,反之,壓力越低,則吸附量越小。PSA制氮設備的部分是碳分子篩,在空氣壓力升高時,碳分子篩將大量吸附氧氣、二氧化碳和水分,當壓力降到常壓時,碳分子篩對氧氣、二氧化碳和水分的吸附量非常小。
半導體行業制氮機的技術指標:
流量3-3000Nm3 /h,
純度95%-99.9999%,
壓力≤0.8MPa,
露點≤-45℃.
1、壓縮空氣凈化組件
空氣壓縮機提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化組件中,壓縮空氣先由管道過濾器除去大部分的油、水、塵,再經冷凍干燥機進一步除水、精過濾器除油、除塵,并由在緊隨其后的超精過濾器進行深度凈化。根據系統工況,優埃基氣體特別設計了一套壓縮空氣除油器,用來防止可能出現的微量油滲透,為碳分子篩提供充分保護。設計嚴謹的空氣凈化組件確保了碳分子篩的使用壽命。經本組件處理后的潔凈空氣可用于儀表空氣。
2、空氣儲罐
空氣儲罐的作用是:降低氣流脈動,起緩沖作用;從而減小系統壓力波動,使壓縮空氣平穩地通過壓縮空氣凈化組件,以便充分除去油水雜質,減輕后續PSA氧氮分離裝置的負荷。同時,在吸附塔進行工作切換時,它也為PSA氧氮分離裝置提供短時間內迅速升壓所需的大量壓縮空氣,使吸附塔內壓力很快上升到工作壓力,保證了設備可靠穩定的運行。
3、氧氮分離裝置
裝有專用碳分子篩的吸附塔共有A、B兩只。當潔凈的壓縮空氣進入A塔入口端經碳分子篩向出口端流動時,O2、CO2和H2O被其吸附,產品氮氣由吸附塔出口端流出。經一段時間后,A塔內的碳分子篩吸附飽和。這時,A塔自動停止吸附,壓縮空氣流入B塔進行吸氧產氮,對并A塔分子篩進行再生。分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的O2、CO2和H2O來實現的。兩塔交替進行吸附和再生,完成氧氮分離,連續輸出氮氣。上述過程均由可編程序控制器(PLC)來控制。當出氣端氮氣純度大小設定值時,PLC程序作用,自動放空閥門打開,將不合格氮氣自動放空,確保不合格氮氣不流向用氣點。氣體放空時利用消音器消聲使噪聲小于75dBA。
4、氮氣緩沖罐
氮氣緩沖罐用于均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣的壓力和純度,保證連續供給氮氣穩定。同時,在吸附塔進行工作切換后,它將本身的部分氣體回充吸附塔,一方面幫助吸附塔升壓,另外也起到保護床層的作用,在設備工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。
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本公司可提供產量從3-3000Nm3/h,純度從95%——99.9995%的氮氣,可廣泛應用于化工、電子、紡織、煤炭、石油、天然氣、醫藥、食品、玻璃、機械、粉未冶金、磁性材料等行業。