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臭氧發生器氧化處理技術于1906年在法國尼斯開始使用，而現在臭氧處理已經逐漸成為消毒工作的主流方式。為了保證供水管網的安全，加入了少量的氯氣。為了滿足氯消毒的需要，工業在1909年生產了大量的液氧。1912年，美國奈加拉白水管開始采用氧氣和少量氯氣的處理方法。
臭氧發生器氧化處理技術的地位和預期問題：
1.實現質變，提高消毒、脫色、除臭、生物降解和混凝性能，改變表面電解分布，改變粒徑分布，降低有機分子和親水性等。
2.使有害有毒的有機物安全無機。
3.注重疫情防控的安全性，能夠處理環境中非常少量的污染物。
臭氧使用的效果和特點如下：
1.電可以隨時隨地產生大量的臭氧；
2.臭氧濃度低是無效的，是所謂的“全有或全無效應（all or none law）”；
3.臭氧氧化和自由基反應之間有直接的反應；
4.與活性氧有關的癌癥和衰老的治療特點尚不清楚；
5.高濃度臭氧和高濃度氧化劑加速反應速度；
6.水處理需要溶氧技術和反應促進技術，反應器也需要溶氧技術和反應促進技術；
7.擅長低分子量的聚合物，更親水，像反應產物一樣容易分解；
8.滅菌、脫色、除臭、透明性更好；
9.臭氧會自行分解成無害的氧目標，成為無功功率消耗；
10.由于臭氧生產成本高，有必要充分利用溶解臭氧技術；
11.對于不能生物處理的物質；
12.無剩余污泥產生；
13.不需要添加化學物質。
