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廢水處理用臭氧發生器設備是一種比較好的強氧化劑，*氧化技術潛力很大，可以氧化蛋白質、氨基酸、有機胺、鏈狀不飽和化合物、芳香族化合物、木質素、腐殖質等多種有機物。在現有的水處理中，臭氧氧化裝置主要用于廢水的三級處理和向被有機物污染的水源供水。
該設備不僅能有效去除水中有機物，而且反應速度快、體積小。特別是當水中含有酚類物質時，臭氧處理可以去除酚類物質帶來的氣味。其次，廢水中的一些有機物，如表面活性劑ABS，微生物不能分解，但臭氧很容易氧化分解。臭氧還有很好的消毒效果，滅菌效果好，滅菌能力快，能有效消滅病毒。臭氧滅菌的效果主要取決于接觸設備出口的殘留量和接觸時間，而pH值、水溫和氨水量對臭氧滅菌效果影響不大。
結果表明，在臭氧氧化設備降解石油污染物的過程中，酸堿度、接觸時間、臭氧濃度等因素對反應過程有很大影響，臭氧氧化設備深度處理后的含油廢水質量可達到回用標準。含油廢水中臭氧濃度低于12毫克/升時為2.88毫克/升，接觸10分鐘后去除率可達95%以上。臭氧氧化裝置用于處理含油廢水。堿性條件下，處理效果優于酸性條件。在污水中，臭氧對油污染物的去除效果受流速的影響。當流速較高時，臭氧與油污染物的接觸時間較短，去除效果變差。因此，含油廢水深度處理中應嚴格控制臭氧濃度。
廢水處理用臭氧發生器設備可以同時殺滅油田廢水中的硫酸鹽還原菌。結果表明，臭氧投加量適宜為0.4~0.66毫克/升，接觸反應時間t>2.5分鐘該條件滿足回注水水質標準中細菌指標的要求。
