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臭氧發生器消毒設備具有很強的臭氧消毒滅菌效果，滅菌迅速比較*地；同時，臭氧可以在消毒滅菌的同時自動還原成氧氣，沒有任何痕跡和二次污染，是一種環保滅菌劑。此外，避免了化學熏蒸紫外線效率低、污染重的缺點。
臭氧滅菌屬于生化氧化反應。臭氧氣體可以氧化分解細菌和其他微生物中葡萄糖所必需的酶，也可以直接與細菌和病毒反應，破壞它們的細胞和RNA，分解DNA、RNA、蛋白質、脂類、多糖等大分子聚合物，使微生物中的物質滲透變形，導致細胞的溶解和死亡，消除死亡細菌中基因、寄生菌株、寄生病毒顆粒、噬菌體、支原體、熱原的溶解和退化。縱觀無菌技術的微生物作用原理，可分為抑制、滅菌、溶解三種，臭氧作為滅菌劑屬于細菌溶解的范疇。
在食品生產企業中，臭氧發生器消毒設備適用于原料和成品的儲存、保鮮和消毒過程，如生產車間的冷藏消毒、空氣消毒和凈化、蔬菜和水果加工、儲存和防霉保鮮；礦泉水的滅菌保存和生產用水、生產工具、容器、包裝的消毒；幫助食品生產企業通過食品行業的GMP和HACCP體系認證。另一個重要的應用是臭氧在水處理中的應用。在清水、礦泉水、無鹽水的消毒滅菌過程中，臭氧可以起到滅菌、除臭、充氧、提味的作用；在游泳水凈化、中水回用、污水處理中，能去除污水中難降解的化學物質，具有除臭、除臭、脫色的功能；在冷卻水循環過程中，臭氧還可以防止水垢的產生，減緩設備和管道的腐蝕。
