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用于水消毒處理的臭氧發生器技術和設備是綠色水處理的替代品，可以減少水中的化學物質和副產物以及新的殘留物。臭氧氣體有半衰期，處理后的水中沒有殘留物，剩余的臭氧變成氧氣。臭氧氣體還可以降低化學需氧量，導致許多物質凝結沉淀，因此是一種非常有效的絮凝劑，可以降低處理設施中的其他化學需氧量。臭氧氧化可以降低化學成本和能耗。臭氧氣體是一種廣譜微生物控制和消毒。例如，當賈第蟲包囊失活時，游離氯的Ct（濃度和時間）比臭氧高約100倍。對于病毒來說，氯的含量是臭氧的六倍。對于隱孢子蟲，臭氧是EPA推薦的滅活消毒劑之一。
臭氧氣體比化學替代品更安全。沒有必要在快速變成飲用水的水中添加有毒物質。如果在飲用水處理中使用臭氧，對氯的需求將大大減少，因為這只是在分配系統中提供低濃度殘留物的一種方法。這降低了生成致癌THM和其他氯化副產品的可能性。用于水消毒處理的臭氧發生器技術設備也可以在不添加其他化學品的情況下進行消毒，從而降低整體化學品消耗。用臭氧處理過的水需要過濾或沉淀，因為臭氧往往會凝結沉淀水中的許多雜質。從根本上說，水質問題通常是通過酸、過氧化物、氯或其他氧化劑來解決的，可能是臭氧處理。還需要強調的是，如果臭氧不能用來解決水質問題，很可能就沒有其他可用的氧化劑來完成這個任務。
