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大型水處理臭氧發生器產生的臭氧與其他滅菌設備相比，滅菌效果好，可以凈化空氣，凈化水。
由于游泳池水易污染，細菌多，需要用臭氧發生器處理，具有廣譜滅菌、快速滅菌、無殘留、無氣泡、無毒無害的特點。大型水處理臭氧發生器產生的臭氧濃度高，運行穩定，是游泳池水凈化處理的良好選擇。
臭氧（O3）在1840年后逐漸被人們所認識。臭氧由三個氧原子組成。由于其氧化還原電位高，氧化能力強，可降解水中的各種雜質，殺滅各種致病菌、霉菌和病毒，殺滅觀賞貝類幼蟲（高達98%）等軟體動物和獨眼巨人、寡毛綱、水蚤類輪蟲等水生生物，所以臭氧滅菌實驗早在1886年就在法國進行了。1893年，一座3m3/h的凈水廠在荷蘭投入運行。1906年在法國尼斯建造的臭氧水處理廠一直運營到1970年。尼斯水廠被譽為“飲用水臭氧化的發源地”。1908年，西門子臭氧發生器安裝在中國福州水廠。到目前為止，世界上有數以千計的臭氧處理水廠。1980年，加拿大蒙特利爾建成了日供水量230萬噸、臭氧消耗300kg/h的大型水廠，大部分建在發達國家，發展中國家只有少數小規模應用。20世紀80年代以來，我國少數自來水廠采用臭氧法，如北京田村自來水廠（15kgO3/h）、昆明自來水廠（33kgO3/h），部分工礦企業自來水廠如大慶油田、勝利油田、燕山石化等單位也有臭氧設備在運行。
