Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450

Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450

可調(diào)光斑尺寸 ≥ 5 微米，用于空間定義濺射或植入

發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流

連續(xù)可變的束流能量 5kV 至 50kV

用于束掃描和散光校正的雙倍極

預(yù)目標(biāo)掃描可縮小光斑尺寸

沒(méi)有燈絲與樣品的直接視線，以避免樣品污染

客戶可更換燈絲和光束微調(diào)孔

雙燈絲可在燈絲壽命終止時(shí)提供運(yùn)行備份

所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料均用于制造

差分泵送，最大限度地減少主室氣體負(fù)荷

可在惰性氣體和氮?dú)夥秶鷥?nèi)運(yùn)行

參數(shù)信息

輸入功率 115/230VAC 50/60Hz 自動(dòng)選擇

光束能量 0-50,000V，1mA

聚焦，冷凝器 0-40,000V，1mA

燈絲功率 發(fā)射調(diào)節(jié)，5V，最大 5A

電離 電子加速電壓和發(fā)射軟件可選

離子萃取 0-2500V 軟件可選

偏轉(zhuǎn) +/-400VDV 電源，用于 +X、-Y、+Y 和 -Y。其余八極元件由電阻分壓器網(wǎng)絡(luò)供電。可選 8 通道偏轉(zhuǎn)電源，具有散光校正和二次電子成像功能

聯(lián)鎖系統(tǒng)和輔助聯(lián)鎖

用戶界面 基于 USB 的圖形用戶界面

機(jī)箱尺寸 483（寬）x 267（高）x 435（深）毫米。19 英寸機(jī)架式機(jī)箱，6U 高