美國Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
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美國Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
只要在結構中納入特定的設計標準，Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發和生產應用中成功實施。
Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻，外徑為2英寸-8英寸。
因為射頻功率在高頻下工作，所以磁控濺射陰極的設計必須能夠控制這種功率。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設計用于在目標表面均勻地傳遞射頻能量，同時提供低反射功率和射頻限制。
高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置。
美國Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
美國Angstrom Sciences, 背板
濺射工藝中使用的背板對于為您的產品創造高質量的薄膜沉積至關重要。我們提供標準配置和定制尺寸的背板，以滿足您的特定要求。我們還提供完整的粘合服務，以提供完整的解決方案。
Angstrom Sciences 提供定制的背板，以適合任何制造商的陰極。我們的內部加工能力使我們能夠根據原始設備規格或定制陰極尺寸制造全系列背板，并具有質量控制。
在 Angstrom Sciences，沒有訂單太小或太大。定制成分沒有最小批量要求，我們對客戶服務的非凡關注令業界羨慕不已。我們通常為平面、圓形和圓柱形濺射靶材提供背板（銅、鉬、銅鉻），為濺射靶材冷卻提供導電漿料和焊盤，并提供鍵合服務，作為我們為 PVD 社區提供全面服務的一部分。
磁體映射套件
磁體映射套件提供了一種測量磁控管磁場并將其與磁體陣列的原始分布圖進行比較的方法。
可以提供磁成像套件，使用戶能夠測量磁控管的場強，并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換。
隨著磁控濺射陰極中的磁場減弱，工作電壓和工作壓力將增加，從而對薄膜質量和均勻性產生負面影響。
擁有磁性診斷工具將允許用戶確定過程偏移是由于磁控管還是其他原因引起的。
磁成像套件由分布驗證板、高斯計和探頭組成。映射板設計為適合濺射陰極，并鉆有沉頭孔，以便可以在目標表面獲取讀數。這允許一致的放置，并且讀數可以與每個 Angstrom Sciences 磁控濺射陰極提供的原始磁圖進行比較。
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