產(chǎn)品特點(diǎn)

全新外觀設(shè)計(jì)，適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作

*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，模塊化設(shè)計(jì)

可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制

可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性

產(chǎn)品參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm

加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s

單步時(shí)長(zhǎng)：3000s

時(shí)間分辨率：0.1s

適用基片尺寸：4/6/8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤

顯影噴嘴距離基片高度可調(diào)，可調(diào)范圍10-50mm

可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）