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BASF公司Exactus紅外測(cè)溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測(cè)量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(zhǎng)測(cè)量低溫的能力使得過(guò)程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好。

主要特點(diǎn)

使用短波進(jìn)行低溫測(cè)量 (≥ 25 oC)	精密度高, 分辨率達(dá) 0.01 oC , 測(cè)溫精度1.5 oC
測(cè)溫重復(fù)性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年	測(cè)量速度達(dá) 1,000 值 / 秒
數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)	可同時(shí)進(jìn)行多達(dá)8通道的數(shù)據(jù)采集

詳細(xì)說(shuō)明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先鋒, BASF已將其溫度測(cè)量技術(shù)專長(zhǎng)應(yīng)用于光學(xué)溫度測(cè)量. BASF公司Exactus紅外測(cè)溫儀取得了技術(shù)性突破，在非接觸式溫度測(cè)量中提供了顯著的性能優(yōu)勢(shì) .

BASF公司Exactus紅外測(cè)溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測(cè)量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(zhǎng)測(cè)量低溫的能力使得過(guò)程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好.

BASF的原創(chuàng)技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢(shì). 高度敏感的電子學(xué)和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長(zhǎng)的探測(cè)器來(lái)測(cè)量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測(cè)量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝.

典型應(yīng)用

硅晶生長(zhǎng)	薄膜沉積
激光/感應(yīng)焊接	玻璃加工
工業(yè)加熱

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量參數(shù)
溫度范圍:	單色測(cè)溫： 65 – 1150℃(工作波長(zhǎng) 0.7 - 1.6 μm) 100 – 1900℃ (工作波長(zhǎng) 1.55 μm) 120 – 3000℃(工作波長(zhǎng) 0.7 - 1.6 μm) 280 – 2200℃(工作波長(zhǎng) 0.9 μm) 350 – 3000℃ (工作波長(zhǎng) 0.9 μm) 500 – 3000℃ (工作波長(zhǎng) 0.65μm) 采用特殊的光學(xué)器件可測(cè)量低溫至： 200℃(工作波長(zhǎng) 0.90μm) 25℃(工作波長(zhǎng) 0.7-1.6μm) 雙色測(cè)溫： 400 – 2500℃(工作波長(zhǎng) 920nm/1280 nm)
測(cè)量精度:	優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測(cè)值
分辨率:	高達(dá)0.01℃
重復(fù)精度:	0.1℃
溫度漂移:	最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
測(cè)量速率:	高達(dá)1000 測(cè)值/秒, 響應(yīng)時(shí)間1ms
D:S	標(biāo)準(zhǔn)鏡頭, 40：1 高分辨率鏡頭, 200:1 可按需訂制

物理參數(shù)
供電:	12-28 VDC, 3W
存儲(chǔ)溫度:	-20 to 70℃
環(huán)境溫度:	電子器件: 0 - 60℃ 惡劣環(huán)境下應(yīng)用鏡頭: 0 - 250℃ 高溫光纖: 0 - 250℃
外殼材質(zhì):	傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼，鋁； 惡劣環(huán)境應(yīng)用鏡頭: 304 不銹鋼；
重量:	標(biāo)準(zhǔn)高溫計(jì)，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.)