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詳細介紹
Sekidenko OR400T 外延片測溫儀主要特點
采用光纖鏡頭或光導管的實時非接觸紅外測量
完整的I / O和外部觸發/同步套件
結構緊湊，易于集成的單通道光纖高溫計
提升了低溫測試性能
詳細說明
傳統的熱電偶測量會因傳熱效應而導致溫場破壞，進而產生測溫誤差。OR400T 光纖溫度計可在不接觸晶圓的情況下直接測量晶圓溫度，提高晶圓之間的均勻性并提高溫度讀數的準確性
OR400T光纖溫度計（OFT）提供單通道溫度測量功能，支持RS-232和模擬數據接口，每秒高達20個讀數。適用于多種大批量半導體生產應用，包括LPCVD，PVD，和金屬蝕刻等。
每個OFT系統均由控制器，光學傳感器和光纖組成。使用光纜可以使控制器遠離RF和其他EMI源進行遠程定位。傳感器檢測目標（通常是基板）輻射的近紅外（NIR）光線，然后通過光纜將近紅外輻射傳輸到控制器，控制器將收集到的光轉換為溫度讀數。
典型應用
Epi
PECVD
LPCVD
PVD
MOCVD
技術參數
| 通用參數 | |
配置 | 單通道溫度測量 |
溫度范圍 | 50 至 3500°C |
| 波長 | 600 至 1600 nm |
| 讀取速率 | 高達 20 Hz |
| 測溫精度 | ±1.5°C |
控制/重復精度 | ±0.1°C |
| 分辨率 | 0.01°C |
| 接口 | |
| 屏幕顯示 | 無，可通過RS232設置 |
| 數據 I/O | 高達115 kB的 RS-232 輸出 |
| 模擬輸出 | 0 至 10 V 或 4 - 20 mA |
| 電參數 | |
輸入電壓 | AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz DC: +24 VDC |
| 環境參數 | |
| 使用環境 | 15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露 |
| 物理特性 | |
| 物理尺寸 | 55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D) 2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D) |
| 重量 | 0.73 kg (0.33 lb) |
| 安裝 | M3 X 0.5螺紋孔（有關更多信息，請參閱手冊） |
| 電源線電流 | 100 VAC時,小于0.7A |
Sekidenko OR400T 外延片測溫儀
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