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  真空微型探針臺應用與半導體測試變 溫真空腔探針臺系統方案：高低溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中。

   精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面高可升溫到高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

    真空微型探針臺應用與半導體測試 低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料（薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等）提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。CPS系列低溫真空探針臺可以對材料或器件進行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量，廣泛應用于半導體工業（芯片、晶圓片、封裝器件）、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性，系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。