PIEZOSYSTEM 壓電反射鏡定位器-測量 

壓電反射鏡定位器 PSH 35 是PIEZOSYSTEM品牌下設計的一款用于小型反射鏡動態運動的裝置。它具有以下特點：

35 mrad 傾斜范圍：PSH 35 具備較大的傾斜范圍，可以實現反射鏡在垂直方向上的傾斜運動。

高諧振頻率：該設備具有高諧振頻率，意味著它可以快速響應指令并實現精確的定位運動。

微弧度級別分辨率：PSH 35 提供微弧度級別的分辨率，能夠實現非常精細的位置控制。

設計緊湊：該裝置體積小巧，易于集成到復雜的平臺中，適用于有限空間或需要高度集成的應用場景。

35 mrad 傾斜范圍

高諧振頻率

微弧度級別分辨率

設計緊湊

壓電反射鏡定位器 PSH 35 是為小型反射鏡的動態運動而開發的。體積小巧，它可以很容易地集成到更復雜的平臺中。

在PIEZOSYSTEM品牌中，同一系列的不同型號之間，主要差別在于行程，以及行程不同引起的精度差異 

PZ 250 CAP WL專為直徑達12英寸的半導體晶片的精確定位而開發。致動器在Z方向上提供250 μm的運動行程。可以

實現納米級的精度。可以長期穩定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250蓋WL可以承載高達3公斤的負荷。

運動范圍達 700 微米

高精度、快速響應，適用于大質量樣品

可適用于動態應用

PIEZOSYSTEM成立于1991年，為半導體、航空航天、顯微鏡和同步加速器行業提供壓電微定位、壓電納米定位和計

量解決方案。

主營產品有：壓電陶瓷環、線性促動器、兩軸位移臺、三軸位移臺、五軸位移臺、偏擺臺等

PIEZOSYSTEM  X軸位移臺-測量