光刻機芯片冷卻水冷式冷水機

產品說明：

1.壓縮機超高能效、低噪音、制冷量大；壓縮機延時啟動，內外皆置安全保護，性能穩定 ；

2.冷凍機渦流水泵；不堵塞、起動扭矩大、密封性好；

3.水箱式蒸發器內置自動補水裝置，方便安裝及保養，適用于大溫差小流量等特殊場合；

4.冷凝器為套管或者殼管式，內鋪銅管，換熱效果好；

5.壓縮機小于或者等于6hp用毛細管；大于6hp則用美國艾可和丹麥丹佛斯膨脹閥（多機頭除外）；

6.電腦PC板，觸摸式控制，安全方便；

7.內置外覆絕熱材料的不銹鋼水箱1個；

8.施耐德電器；LAE溫控，溫度3～50℃范圍內可控可調，溫差：±1℃；R22冷媒；

9.安全保護系統

壓縮機延時起動保護

冰水泵過載及指示燈

壓縮機過載保護

馬達反轉保護及指示燈

壓縮機過載保護及指示燈

冷媒不足保護及指示燈

冷媒高壓安全閥

散熱不良保護及指示燈

故障警報蜂鳴器

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調用冷水機組一般是在標準工況所規定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說，其運行條件不變，外界負荷一定的情況下，冷水機組的制冷量是一定的。此時，通過蒸發器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越小；反之，流量越小，溫差越大。所以，冷水機組工況規定冷水供回水溫差為5℃，這實際上是規定了機組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現為控制冷水通過蒸發器的太力降。

　　在標準工況下，蒸發器上冷水供回水壓降調定為0.5kgf/cm2。其壓降調定方法是調節冷泵出口閥門開度，和蒸發器供、回水閥門開度。閥門開度調節的原則是：蒸發器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環系統中阻力；機組在負擔設計負荷的情況下運行，蒸發器進、出水溫差為5℃。此時進、出蒸發器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經確定，冷水系統各閥門開度大小就應相對穩定不變。即使在非調定工況下運行（如卸載運行）旱，各閥門也應相對穩定不變。應當注意，全開閥門加大冷水流量，減少進、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會使蒸發器的蒸發溫度提高，機組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發器冷水側進、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來說，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度，可以調節冷水供水壓力。將出水閥開度關小，則冷水泵背壓提高，通過水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時蒸發器的供水壓力下降，但該壓力無論如何也不應低于滿足蒸發器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機組的運行安全，蒸發器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統雖然是封閉的，在蒸發器中水側結垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴重，但從設備檢查維修要求出發，應每年對蒸發器管道的水側和冷水系統的其他管道清洗一次。

【光刻機芯片冷卻水冷式冷水機】