CNC視頻圖象坐標(biāo)測量儀

NEXIV VMR-H3030系列

該設(shè)備具有*的精度以及多種多樣的功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量，還可以作為精密檢測室的主檢測設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進(jìn)行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有*的精度，加上其合理的布局以及堅(jiān)固耐用的硬件設(shè)計(jì)，使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達(dá)到了亞微米級(jí)，可以滿足精密模具的檢測需求。

1、2、3 型

超高精度，適于用作精密檢測室的主檢測設(shè)備；

3個(gè)型號(hào)（1、2、3 型）各自有 5 級(jí)放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求；

有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準(zhǔn)確探測的需求；

較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對(duì)工件高度方向的空間需求；

高達(dá)15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級(jí)變焦機(jī)構(gòu)相比，采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測量更加快速、準(zhǔn)確。

應(yīng)用領(lǐng)域：
精密檢測室的主檢測設(shè)備，模具及精密機(jī)械零件測量。

精密掩模板

精密機(jī)械零件

模具

Z120X 型（帶高倍頭）

具有超高精度的載物臺(tái)，與高倍頭配合使用，能夠準(zhǔn)確測量工件的細(xì)微部位（如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸）光學(xué)放大倍數(shù)可達(dá)120X，能夠測量微距線寬；

高速、高精度的載物臺(tái)有助于對(duì)較大的物體尺寸，進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測量；

可以分別測量刻線的上下寬度；

激光自動(dòng)掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等；

可以對(duì)激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評(píng)估。

應(yīng)用領(lǐng)域：
各種芯片級(jí)封裝、芯片上的凸點(diǎn)高度、各種精密掩膜板等。

精密掩模板

倒裝芯片上的凸點(diǎn)

芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示