1. 尺寸

《W》160mm × 《L》552mm × 《H》170mm

2. 重量

重量..................... 約4.2kg

3. 外部

電極主體................... 鋁塊結構

水平...................... 鋁塊結構

表面....................... SUS304板材

氣體控制器............... Φ10mm(快插式管接頭),1個端1口

4. 附件

排氣..................... JIS50A(Φ 60.5)SUS管(1個端口)

等離子處理區域.... 400mm

1. 電流

GPS電源.................. 50A 1Φ AC220(V±10%),50/60Hz

UPS電源.................. 2A 1Φ AC220V,50/60Hz

2. PN2（ 高純氮）

氣壓...................... 0.4~0.7MPa

氣流..................... 大值 500L/min

接口...................... Φ 10mm(快插式管接頭),1個端口

3. CDA

氣壓...................... 0.4~0.7MPa

氣流...................... max 10L/min

接口...................... Φ 10mm(快插式管接頭),1個端口

4. 氣體控制器尺寸

《W》365mm × 《L》504mm × 《H》153mm

5. 其提供給單位

電磁閥

1. 型號

APP-HP

2. 電源輸入功率

額定電壓................... GPS : 20A 1Φ AC220V , 50 /60Hz

UPS : 2A 1 Φ AC220V 50/ 60Hz

3. 電源輸出功率

可變裝置電壓................ 5~12kV

推薦使用電壓................ 7~9kV

4. 大功率

2kW

5. 電源冷卻方式

空氣冷卻

6. 重量

35Kg

7. 控制方式

電壓調節方式

8. 接口模式

本地或 PLC 遠程模式

9. 顯示

VFD 顯示屏

10. 外觀

米黃色, 絕緣圖章

11. 外形尺寸

《W》580mm × 《L》480mm × 《H》231mm

12. 地接方式

1 種 地接方式 10Sq 以上 (10Ω 一下, 獨立地接)

13. 工作溫度

5℃ 至 + 35℃ (入口側標準)

14. 濕度

15% ~ 85% (相對濕度)

15. HV 電纜

2 種 silicone（ 硅有機樹脂 ）絕緣電纜