機臺型號：PM17A
整機規格：2000(W)×1500(D)×1960(H)  mm
電極規格：17層平板式電極板（944W×790 D mm  (28W ×24D in)）
電源系統：10KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統：PC工控系統+PLC自動控制
進氣系統：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持

用 途：適用于印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。
PTFE(鐵氟龍)高頻微波板沉銅前的孔壁表面改性活化（Modification）：提高孔壁與鍍銅層結合力，杜絕出現沉銅后黑孔；消除孔銅和內層銅高溫斷裂爆孔等現象，提高可靠性。涂覆阻焊油墨前與絲印字符前板面活化：有效防止阻焊油墨及印刷字符脫落。