技術參數

1、機臺整機規格

2120(W)×1800(D)×2000H)  mm

2、真空室規格

進口合金鋁1140(W)×1500（D)×1130(H)   mm

3、電極板規格

進口美鋁950H×1230D mm

4、真空電極結構

垂直電極板16層，可處理15層工件

5、真空泵系統

Hanbell干式真空機組

6、真空測定系統

高精密薄膜硅真空計

7、真空供氣系統

Ф6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路

8、真空排氣系統

全不銹鋼管路+波紋管

9、破真空系統

倒計時自動開合啟動

10、PLC自動控制系統

德國西門子200SMART-PLC及擴展模塊(D/A轉換、A/D轉換、溫度控制）

11、人機工控系統

MCGS觸屏工控電腦

12、變頻控制系統

德國SIEMENS，PID閉環控制，真空度可維持

13、機臺冷卻系統

SKYTECK冰水機水冷，采用內部獨立中通冰水循環冷卻系統

14、溫度控制系統

德國西門子200SMART溫度傳感模塊，PID閉環控制，作業過程溫度可控

15、冰水機

國產品牌5.0P

16、輸入氣壓監測系統

5路 日本SMC自動報警氣壓表（帶過濾裝置）

17、氣體控制系統

5路 日本SMC電磁閥門

18、氣體計量系統

SevenStar- MFC氣體質量流量計精確控制流量

19、等離子發生器

額定功率：0-20KW,全自動匹配

20、其他組件

國內外元器件

機臺*之條件

1、壓縮空氣要求

0.6～0.8MPa

2、循環冷卻水用量

3～7 SLM

3、抽風系統

≥2立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可

技術指標

1、機臺總重

約2500KG

2、額定功率

額定功率45KW

3、機臺供電

三相五線式 AC 380V  50/60Hz

4、腔體容積

1140(W)×1500（D)×1130(H)    mm

5、電極板數量

垂直極板16層

6、處理層數及托架

15層

7、單層處理大面積

950(H)×1230(D )mm

8、單次處理總面積

約7M2

9、單次處理時間

10-60分鐘不等（根據產品特征，時間設定不同）

10、工作真空度

0.15～0.3Torr （可根據要求設定，可恒定真空度）

11、泵可抽極限壓力

4.0X10-1Torr

12、抽真空時間

≤180秒

13、破真空時間

≤60秒

14、等離子發生器功率

額定功率20KW；0-20KW自動設定調節，全自動匹配

15、等離子發生器頻率

40KHz±100Hz

16、供氣方式

高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa

17、流量計調節范圍

0-1000毫升/分鐘，0-3000毫升/分鐘；全自動調節

18、溫度控制調節范圍

5匹速冷，30-85℃可調