萊寶真空計CTR100N真空泵
此真空變送器提供四 (4) 位十進制測量范圍,并基于薄膜與固定電極之間的電容進行測量。不論處理氣體成分如何,其輸出均相同 – 無需氣體校正系數。
它的應用非常廣泛,可用作獨立設備或與合適的控制設備配合使用。CTR 100 N 變送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模擬輸出信號。此輸出可連接至外部模擬設備,獲取壓力讀數,或進行壓力控制。此變送器還配備 RS232 數字通信接口,可設定變送器參數并提供實時壓力測量。有關此接口的詳情,請參閱 RS232 指導手冊 300544665。
傳感器技術
此變送器通過測量薄金屬膜與圖案化電極之間的電容進行工作。當處理壓力發生變化時,薄膜改變其相對于電極的位置,促使電容發生改變。電容的變化與壓力的變化成正比。由于薄膜位置與氣體類型無關,因此不論氣體成分如何,變送器都提供相同的輸出信號。薄膜和傳感器全部由鎳合金構成,從而它能夠抵御腐蝕或氧化所造成的損害。
應用
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中,如:半導體、分析和涂料工業中:
? 一般真空壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 薄膜沉積處理,例如蒸發、濺射和化學氣相沉積 (CVD)。
? 高級材料處理,例如真空爐和陶瓷燒結。
? 溶液和油液的真空脫氣。
? 等離子和化學清洗。
? 分析儀器,例如電子顯微鏡、熱分析儀和質譜儀。
萊寶真空計CTR100N真空泵