XDS35i/XDS46i愛德華渦旋泵密封包詳細內容介紹
渦旋泵密封包里面包含,兩個密封條,O型圈,螺絲等配件
XDS35i/XDS100密封包編號A73001801
XDS46i密封包編號A73101801
Edwards XDS35i/XDS46i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式渦旋泵
軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離,以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染,從而延長軸承使用壽命。
智能電機驅動
意味著全程穩定的性能、泵過載保護和遠程啟動/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽,包括高達 240 gh-1 的水蒸汽
簡便的單側渦旋設計
可在數分鐘內完成維護,以降低擁有成本并大程度延長正常運行時間。
更進一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20% 的峰值電力需求,這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室,且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25%,這也有助于提高應用循環頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領域,XDS 干式渦旋泵已成為行業標準,在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。
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