詳細介紹
日本*數字質量流量控制器DF-200C
高精度(±1%RD),高速響應(在所有區域中均在1秒以內)支持
多種氣體和多種量程
標準通信功能(RS485)
符合RoHS / CE標準
產品規格
項 | 數字質量流量控制器 |
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型號 | DF-200C |
目標氣體 | 多氣* N 2(空氣,H 2,He,Ar,O 2,CO 2) |
擬合(選擇一個) | 1 / 4F900(標準) 1 / 4UJR Rc1 / 4 |
流量范圍(選一) | 多范圍* 10/30/50/100/300 / 500SCCM / 1 / 35SLM |
* | 使用軟件,可以在的滿刻度(FS)的30%到100%之間更改氣體刻度并更改滿刻度范圍。 |
規格書 | 傳感器方法:熱繞組傳感器 控制范圍:2至100%(FS) 響應 度:1秒內的總流量控制范圍精度: ±1.0%RD(> 35%FS) ±0.35%FS(≦35%FS) 再現性:±0.25%FS 大入口壓力:500 kPa 耐壓:980 kPa 工作 溫度:5至50°C 保證的準確溫度:15至35°C 允許的存儲溫度:-10至60°C 允許的工作溫度:10至90%RH(但是,無結露) 接液材料:SUS316,SU316L,磁性不銹鋼,鎳,PTFE,聚三氟氯乙烯,氟 流量設定信號:0?5VDC(輸入阻抗1MΩ或更高) 流量輸出信號:0?5VDC(小負載電阻10K?上圖) 數字信號:通過RS485旋轉開關設置地址:多99個單元 所需電源(DC): + 15V±5%(150mA) 安裝姿勢:建議水平安裝 重量:約900g |
日本*數字質量流量控制器DF-200C
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