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東京精密 表面粗糙度·輪廓形狀測量機

SURFCOM NEX可以對應粗糙度測量、輪廓測量、粗糙度輪廓形狀綜合測量這三種功能，可以根據測量目的選擇相應的傳感器。不但各種傳感器可以單獨使用，也可以將各種傳感器組合起來，作為復合機使用。無論是混合型、粗糙度輪廓復合型傳感器，都能根據用途自由選擇。

SURFCOM 的進化表現出了新的標準在市場上的實際表現證明了它無以倫比的擴展性能一直在追求功能和設計兼顧的NEX系列正在世界上衍生成為新的標準

無論是粗糙度測量、輪廓形狀測量、混合測量，都能在升級追加功能新產品的擴展性能使得一臺設備能擁有多種功能

例如，如果只是需要一般的粗糙度測量機，則只要選擇粗糙度傳感器就可以。后續，如果需要同時評價R面的粗糙度和大量程的表面形狀，只要升級為混合傳感器就可以滿足，而僅僅只需要更換傳感器就可以了。此外，還可以根據測量需求進行系統升級，如升級為輪廓形狀傳感器和三維粗糙度測量等。

東京精密 表面粗糙度·輪廓形狀測量機

憑借線性驅動部獲得令人吃驚的低振動

無限提升傳感器的分辨率本身并非難事。然而，如果不重新審視傳感器的驅動結構，只是不必要地提升傳感器單體的分辨率，那么就*沒有意義，這樣的規格也只是擺設而已。東京精密在**在驅動部搭載高精度線性馬達，同時根本性地達到結構上的“高精度極限點"，以動態分辨率（Dynamic Resolution）的創意實現了的實力提升。

非接觸驅動的有效性

線性馬達也適合往復運動，可準確定位并進行高速測量。傳統的控制是組合了電機、編碼器、線性光柵尺的滾珠絲杠驅動控制，因此特別是對于三維表面性狀評價等，由于準確定位造成往復運動的控制響應性出現了極限。線性驅動基本上是僅靠線性馬達和標尺的簡單控制，因此可進行高響應性高精度的定位。

對位

為了不損害線性馬達的超低振動特性，安裝在X軸驅動部的手動進給機構在實際測量時，自動將手動齒輪機構與線性測量機構的連結分離開來。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。此外，在手持操作部，為了能夠在操縱桿操作以外切實操作微細的對位，布局了微動進給用JOG撥盤。

擁有溫度補正系統，使精度保證溫度范圍擴大到20℃ ±5℃

NEX 系列的驅動部配備了標準溫度補正系統，使精度保證溫度范圍從原來的20℃ ±2℃擴大到了20±5℃。以往，因為溫度變化引起的熱脹冷縮會使 X 方向的指示精度受到影響，但是內置的溫度傳感器會根據實際的變化，自動進行補正。溫度的補正與否對傳感器的精度影響非常大，通過組合實現溫度補正時NEX系列*的功能

免維護

日常不需要向驅動機構加注潤滑脂、潤滑油。本公司更改了驅動支持導軌面的材質和機構，對無給油進行實證，實現了日常免維護。但是基于保證測量機精度的觀點，我們推薦定期維護。