應用領域 | 建材,電子,交通,印刷包裝,紡織皮革 |
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敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統。
典型應用包括:
半導體業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
直驅電機
參考價 | ¥100 |
訂貨量 | 1 |
更新時間:2019-08-15 15:04:14瀏覽次數:592
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德國海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點。例如,在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學原理的不同,分為透射光柵和反射光柵
以透射光柵為例,當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
莫爾條紋
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規律
兩片光柵相對移過一個柵距,莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數,變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準確性運動的理想選擇。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求,海德漢新開發了全新ASIC信號處理芯片:HSP 1.0。有關該芯片如何接近*地補償信號變化和恢復初的信號質量,
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