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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產業,能源,電子,綜合 |
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CKD集成化供氣系統
型號： IAGD5
行業
半導體制造工序（前工序）
化學氣體供給設備用元件
產品特點：【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件，構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付，可減少客戶的工時。
CKD集成化供氣系統
型號： IAGD5 衍生系列
ckd集成化供氣系統IAGD5
化學液體用氣動閥的新標準。
它是一款支持各種壓力、溫度和流體條件的端產品。
它可以統一使用中所有細分的模型。
行業
半導體制造過程（預處理）
化學液體供應設備的組件
ckd集成化供氣系統IAGD5
備有最大扭矩22和45N·m兩種尺寸。
配備 4、194 和 304 個脈沖的編碼器分辨率，可實現 ±2 秒的重復精度。
產品可以直接從頂部或底部安裝，無需拆下蓋子。這顯著減少了工作時間，尤其是從頂部安裝時。【維護方便】
滑塊側面設有可直接從外部供給油脂的油脂供給口。不分解主體，從一處輸送油脂，維護導軌和滾珠絲杠。[低塵規格選項]
提供相當于 2.5 級（ISO14644-1 標準）的清潔度。通過提供真空端口實現低發塵。非常適合在清潔環境中運輸。
* 有關清潔等級的詳細信息，請參閱產塵特性頁面上的目錄。[NEW] 添加了低粉塵規格選項
[NEW] 添加了電機制造商支持
電動執行器的無電機規格，允許您安裝和控制每個制造商的電機。
將主體和導軌一體化的外軌系統結構緊湊，剛性高。主體外側設有供油口，主體頂部可安裝，安裝維護方便。
沖程：50~1250mm
最大搬運質量（水平）：110kg[NEW] 添加了低粉塵規格選項
[NEW] 添加了電機制造商支持
電動執行器的無電機規格，允許您安裝和控制每個制造商的電機。
將主體和導軌一體化的外軌系統結構緊湊，剛性高。主體外側設有供油口，主體頂部可安裝，安裝維護方便。
沖程：50~1250mm
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