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海德漢HEIDENHAIN光柵尺
典型應用包括:
高真空和超高真空技術
我們的標準編碼器適用于低真空或中等真空應用。高真空或超高真空應用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設計和材質必須滿足應用要求。更多信息,參見“真空中應用的直線光柵尺”產品信息。
以下敞開式直線光柵尺于高真空或超高真空應用環境。
• 高真空:LIP 481 V和LIF 481 V
• 超高真空:LIP 481 U
二維坐標測量
PP二維編碼器的測量基準是平面DIADUR工藝制造的相位光柵,采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。
詳見:海德漢HEIDENHAIN光柵尺
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