超聲波液體濃度計 多成分用 FUD-1 Molel-52 測量原理：濃度計在音速、溫度的基礎上，可測量出其他物理量， 根據數據記錄器上的檢量線，可演算出成分濃度。 用途： CMP程序的濃度測量（CMP泥漿+添加劑） 洗凈工程的濃度測量(NH3+H2O2、HCI+H2O2、 H2SO4+H2O2、HF+H2O2、HF+HNO3等） 蝕刻工程的濃度測量（H2SO4+Cu等） 特長： 小型輕量的電池型發信器，直接在線安裝。 免維護設計 小型輸出設計，對藥液沒有影響。 實時計測，可連續計測 型號 | FUD-1 Model-52 | 變換器 | 測定參數 | 超聲波傳播速度、溫度、導電率 | 表示 | LCD （濃度1、濃度2、溫度、音速、導電率/各種參數） | 出力信號 | 模擬 DC4～20ｍA：2系統 數字RS232C （濃度1、濃度2、溫度、音速、導電率/各種參數） 警報 上?上上?下?下下限 計測異常：2系統 | 電源 | AC100～240V 50/60Hz兩用 30VA | 構造 | 配電盤支架型（DIN規格基準） | 周邊溫度 | 變換器 | 0～50℃ | RH85％以下 （不結冰時） | 功能 | 輸出范圍設定、輸出警報設定、濃度表示、自我診斷功能、安全裝置功能、取消異常值功能、溫度補償 | 選件 | 溫度輸出（DC4～20ｍA) RS485輸出（不能和RS232C同時輸出） | 波道（檢量線） | 大10Ch | 適合發信器 | SA-20S7+導電率計、AP-20S12+導電率計、SA-20S9+導電率計 |
型號 | 發信器 | SA-20S7X73+導電率計 (CMP用) | AP-20S12+導電率計 (APM用) | SA-20S9+導電率計 (一般用) | 振動元件 | PZT(2MHz)x1 | PZT(2MHz)x1 | PZT(2MHz)x2 | 測定元件 | 熱敏電阻 | 熱敏電阻 | 熱敏電阻 | 測定液溫度 | 0～100℃ | 0～60℃ | 0～80℃ | 構造 | 流量元件 | 流量元件 | 流量元件 | 接液部材質 | PFA/PFA表面涂層 | PFA/PTFE | PFA | 接頭 | 3/4裝配（可變更） | 1/2?1/4裝配 | 3/4裝配（可變更） | 耐圧 | 0.3MPa | 0.35MPa | 0.3MPa | 流量 | 5l/min（推薦） | 5～10l/min（推薦） | 5l/min（推薦） | 重量 | 2.5kg | 3.2kg | 3.0kg | 電纜 | 電纜6m | 電纜6m | 電纜6m | 周邊溫度 | 5～45℃ | 5～45℃ | 5～45℃ |
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