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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電氣

功能特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器；
用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物；
在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好；
鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣；
石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個(gè)石英舟，大清洗一個(gè)2英寸的基片；
清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換；
使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別；低成本、操作安全；

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)	● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W ● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W ● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz ● 等離子直流電源 ● 輸入電壓：220V,50Hz
等離子腔室	● 直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體，前蓋可以開(kāi)啟 ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長(zhǎng)
真空計(jì)	● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。
可選配件	● 您可以訂購(gòu)額外的石英腔體，用于備用 ● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情） ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片 ●
真空泵和閥	● 此設(shè)備不包含真空泵 ● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息 ●
工作氣體	● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)狻鍤狻⒖諝狻⒒旌蠚怏w，主要取決于處理何種材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體 ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體
等離子清洗及刻蝕的方法
外形尺寸	353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
凈重	8kg（不含泵）
認(rèn)證	CE認(rèn)證
質(zhì)保期	● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
工作原理	等離子清洗機(jī)工作原理