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應用領域 | 電氣 |
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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉CVD爐。爐體有3個加熱區,可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統。此款管式爐設計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉CVD管式爐
性能指標和基本配置 | |
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爐膛結構 | ● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統 ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ● 一個直流電機驅動爐管轉動,轉速為可調 ● 爐體開啟式設計,方便更換爐管 ● 爐體可以傾斜,傾斜角度可調 ● 設有開門斷電功能,提高實驗安全性 |
基本參數 | ● 溫度:1100℃(1200℃<1h) ● 建議升溫速率:≤10℃/min ● 熱偶:K型熱偶 ● 電源:AC208-240,50Hz 最大4KW ● 加熱區長度:600mm 三溫區:150mm+300mm+150mm |
爐管和法蘭 | ● 異型石英管,內部焊接有揚料板,使粉體燒結更加充分和均勻 ● 尺寸:100 mm OD x 1200 mm L (異型管) |
加熱元件 | ● 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
溫控系統 | ● 三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制 ● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動控溫系統 ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度:±1℃ ● 默認DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認證 ● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據 |
爐體傾斜角度 | ● 可調范圍:-5° - 25° |
氣密配件 | ● 用磁流體法蘭密封 |
進氣系統 | ● 四通道精密氣體混合和輸送系統,配有觸摸屏,用于1-4種氣體CVD ● 注意:如果通入的是易燃易爆型氣體,必須將設備安裝在通風柜中 |
外形尺寸 | ● 1950mmL X 600mmW X 1320mmH ● 混氣系統:600mmL X 750mmW X 700mmH |
設備凈重 | ● 回轉爐:約130 Kg |
使用提示 | ● 此套設備可以配合本公司連續送料裝置來達到連續進料的效果(圖一、二) ● 對于CVD系統,您可以選擇我們的多通道進氣系統(圖三) ● 在收集粉末時需要在密封容器中傳送的情況下,可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架。客戶可以很簡單的將帶有蝶閥的收集罐與設備斷開鏈接,并在運輸過程保持密封。點擊下列圖片查看詳情(圖三) |
真空系統 | ● 通過機械泵可達到10E-2 Torr ● 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr ● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
質保期 | ● 一年保修,終身技術支持。 ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
質量認證 | ● 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
使用注意事項 | ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉CVD管式爐
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