潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類無塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。電子制造業(yè)廠萬級(jí)無塵車間潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，該類無塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。南陽萬級(jí)無塵凈化車間工程

一、電子制造業(yè)廠萬級(jí)無塵車間特點(diǎn)：

潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類無塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。文本標(biāo)簽：電子制造業(yè)廠萬級(jí)無塵車間潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類無塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。  

 一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。南陽萬級(jí)無塵凈化車間工程

二、電子無塵車間清潔要求:

（1）清潔潔凈室內(nèi)墻體時(shí)，應(yīng)使用潔凈工程潔凈室無塵布。

（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑。

（3）使用已獲批準(zhǔn)的凈化工程潔凈室去污劑。

（4）每天都要檢查無塵車間和裝備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。

（5）每塊地板都要吸塵處理。并在“無塵車間清潔記錄"表上標(biāo)明工作完成情況。例如在哪結(jié)束從哪開始。

（6）清潔無塵凈化工程潔凈室的地面時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉凈化系統(tǒng)，并使用無塵室拖把。

（7）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。

（8）無塵室所有的門窗都需要清潔、保養(yǎng)。

（9）潔凈室每天需吸塵，拖地；一周需擦一次墻面、門窗。

（10）無塵車間架空地板下也要吸塵及擦拭。

（11）電子無塵車間三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。

（12）在潔凈室工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。

三、無塵車間的分類

（1）工業(yè)無塵車間

工業(yè)無塵車間以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

（2）生物無塵車間

生物無塵車間主要控制有生命微粒與無生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為：

A、一般生物潔凈室：主要控制微生物（）對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。

B、生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。

無塵車間的裝修一般對(duì)環(huán)境衛(wèi)生有一定要求，這也與行業(yè)特點(diǎn)有關(guān)。車間地面的出現(xiàn)為無塵車間的地面裝飾提供了新的材料。 它具有清洗方便等許多特點(diǎn)，可以在很大程度上滿足車間生產(chǎn)地面裝飾的要求。 在車間使用環(huán)氧地坪需要無塵處理，這對(duì)于車間地面的應(yīng)用具有重要意義。

無塵車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。

無塵車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三：

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵車間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵車間安裝之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有無塵車間安裝工具組，但不得帶出無塵車間安裝外使用。

l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無塵車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。

2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：

a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。

c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。

3.自動(dòng)化與無塵化：

a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。

b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無塵車間安裝人員的限定，無塵車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面敘述，此處不再說明。

在無塵車間安裝之維護(hù)管理方面，可分三部分加以說明：

1.建筑物之維護(hù)管理：

a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。

b.地板之清掃管理及損壞更新。

c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。

d.窗戶及門之保養(yǎng)等。

2.環(huán)境測(cè)定與管理：

無塵車間安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測(cè)，以確實(shí)掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。

3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：

a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測(cè)儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn)，若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須測(cè)量。

b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。

c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。

d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)檢查內(nèi)容及周期。

e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。

f.測(cè)試及量測(cè)儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。

g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。

h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。

i.無塵車間安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理：?jiǎn)?dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測(cè)試，須無塵車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時(shí)再開始作業(yè)。

無塵車間安裝內(nèi)用品的管理

無塵車間安裝內(nèi)用品除了進(jìn)出無塵車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、等，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。

潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)*塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。

潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵車間安裝內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為無塵車間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動(dòng)。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時(shí)，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。

芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運(yùn)車則以構(gòu)造簡(jiǎn)單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運(yùn)車時(shí)不得急速運(yùn)推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時(shí)不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán)，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高無塵車間安裝內(nèi)使用，必要時(shí)可在更衣室等無塵車間安裝較低等級(jí)的區(qū)域使用白板。無塵車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。

真空吸塵器，其功能是在吸取無塵車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以達(dá)到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時(shí)會(huì)有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響無塵車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之無塵車間安裝均設(shè)有式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場(chǎng)預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時(shí)的氣流干擾,在使用式系統(tǒng)時(shí)，須注意排氣旦之控制避免使無塵車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贌o塵車間安裝內(nèi)，故不可移至室外使用，若不用時(shí)應(yīng)置于較低等級(jí)的無塵車間安裝中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。南陽萬級(jí)無塵凈化車間工程