電子潔凈廠房技術要求規范

1、噪聲要求

1.1單向流和混合流潔凈室（區）的的噪聲級（空態）不應大于65dB（A），

1.2非單向流潔凈室（區）的噪聲級（空態）不應大于60dB（A）。合肥無塵車間凈化施工公司

2、消防要求

   2.1 按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；

3、 物料凈化用室與潔凈室（區）之間應設置氣閘室或傳遞窗。

4、 潔凈室（區）內設置真空泵時，應符合下列規定：

4.1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；

4.2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；

4.3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。

5、 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

5.1在綜合性廠房的一個防火分區內，凈生產區域與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

5.2 潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規定;

   1  每一生產層、每個防火分區或每一潔凈室的安全出口數目,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定

   2  安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設觀察玻璃窗;

   3  丙類生產的電子工業潔凈廠房,在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0.02人/㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。

5.3 潔凈廠房的潔凈區各層外墻應設置消防口，并應符合下列規定：

1 潔凈區各層消防口的設計，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；

2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為消防口。

5.4潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

6、 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB 50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。

7、潔凈室（區）與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規定：

1 各潔凈室（區）與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定；

2 不同等級的潔凈室（區）之間的靜壓差應大于等于5Pa；

3 潔凈室（區）與非潔凈室（區）之間的靜壓差應大于5Pa；

4  潔凈室（區）與室外的靜壓差應大于10Pa。

8、  空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室（區）不應采用散熱器采暖。

9、  

 1 應防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；

4 對含有水蒸汽或凝結物質的排風系統，應設置坡度及排放口；

5 排風介質中含有害物質時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源；

6 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；

7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計；

8 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統，應設置消除靜電的接地裝置。

10、 對排風系統中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路，應保持相對于路由區域一定的負壓值。

11、潔凈室（區）事故排風系統的設計，應符合下列規定：

1 事故排風區域的換氣次數不應小于12次/h；

2 應設置自動和手動控制開關、手動控制開關應分別設置在潔凈室（區）和潔凈室（區）外便于操作的地點；

3 應設置應急電源。

7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。

7.7.2 凈化空調系統的風管的防火閥的設置，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設置熔片式防火閥。

7.7.7

   2 排煙系統的風管應采用不燃材料制作；

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。

8.3.1 生產、生活排水系統應分別設置。生產排水系統應根據電子產品生產設備排出的廢水性質、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。

8.3.2 潔凈室（區）內與電子產品生產設備相連接的重力排水管道，應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統應有完善的通氣系統。

8.5.1 潔凈廠房必須設置消防給水系統。消防給水系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

8.5.2

   1 潔凈室（區）的生產層及上下技術夾層（不含不通行的技術夾層），應設置室內消火栓；

8.5.3

   3 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。

9.2.3

   3 不循環支管的長度不應大于管徑的6倍；

4 干管應設置清洗口；

12、潔凈室(區)內應設備用照明;

12.2.4 潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明，其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉角處應設置疏散標志。在消防口應設置紅色應急照明指示燈。

12.3.2 潔凈廠房應設置火災自動報警系統，其防護等級應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。當防火分區面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的大建筑面積允許值時，保護等級應為一級。

12.3.4

1 潔凈生產區、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產區、技術夾層應設置智能型探測器；

3 硅烷儲存、分配間（區），應設置紅外線—紫外線火焰探測器；

 12.4.4 凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制,并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。

13.2.1

    2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5× ~1×?；  

3 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應為1×~1× ?。

13.3.4對電子產品生產工程中產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。合肥無塵車間凈化施工公司