冷干燥機的后精密度過濾器組，精密過濾器組由二級過濾器組成。分別是T級主管路過濾器與高效除油霧過濾器。T級主管路過濾器精密度為1um，濾除1um和更大的固態與液態顆粒，殘留油份含量1ppm w/w。高效除油霧過濾器過濾精度0.01um濾除0.01um和更大的固態與液態顆粒，99.999+%油霧；殘留油份含量0.001ppm w/w。壓縮空氣品質達到ISO8573.1質量等級１級。兩個吸附塔交替進行吸附和再生，從而產生流量和純度穩定的產品氮氣。兩只吸附器的切換由PLC控制的程控閥自動完成。一臺變壓吸附制氮裝置的性能優劣取決于吸附器、碳分子篩、工藝流程、設備結構以及電磁氣動閥等部件的性能。我公司生產的變壓吸附制氮裝置選用日本三菱公司生產的PLC可編程序控制器，選用德國BF碳分子篩、德國BURKET公司生產的電磁氣動閥。就可以產出需要氮氣。