AST橢偏儀薄膜分析MSP500-RTMF

AST橢偏儀薄膜分析MSP500-RTMF分析產品來自美國AST公司，其可以實現微小區域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數也可以實現測量，為人們針對薄膜微小區域進行分析提供了便利。

產品詳情

規格參數

　　波長范圍：250nm到1700 nm

　　波長分辨率: 1nm

　　光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

　　基片尺寸：多可至20mm

　　測量厚度范圍: 20Å 到25 μm

　　測量時間：2毫秒

　　精度*：優于0.5%(通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)

　　重復性誤差*：小于2 ?

可選配件項

　　l 波長可擴展到遠DUV或者長NIR范圍(～2500nm)

　　2 可根據客戶的特殊需求來定制

　　3 在動態實驗研究時，可根據需要對平臺進行加熱或致冷

　　4 可選擇的平臺尺寸多可測量300mm大小尺寸的樣品

　　5 更高的波長范圍的分辨率可低至0.1nm

　　6 各種濾光片可供各種特殊的需求

　　7 可添加應用于熒光測量的附件

　　8 可添加用于拉曼應用的附件

　　9 可添加用于偏光應用的附件

應用系統

　　主要應用于透光薄膜分析類領域：

　　l 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

　　2 半導體制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　5 半導體化合物

　　6 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

　　7 非晶體，納米材料和結晶硅