詳細介紹
山東省聊城市科威化工儀器有限公司
一、 用途
硅外延用氫氣純化器引進*進技術,為國內各*生產的硅片提供了高效有力的支持,氫氣的純度直接影響硅片的質量,硅外延氫氣純化器利用鈀擴散原理是氫氣純度提高到99.99999%以上,從而有效提高硅外延的質量,鈀擴散提氫成為氫氣純化當中的氫氣。也為各大專院校、科研單位、石油化工、輕工、電子、材料學、制藥、環保監測、醫療衛生等領域,化驗室、實驗室、分析室,提供粗氫精制成高純氫而研制的一種數控鈀擴散純氫儀。
二、主標要技術指
氫氣純度:99.99999%以上 氫氣純化量:5-15L/min
原料氫壓力:≤0.8MPa 純化氫壓力:可調
原料氫含氫量:不小于50% 使用溫度:≤400℃
三、硅外延用氫氣純化器工作原理
氫分子和氫原子是所有化學元素中極小的分子和原子,如把鈀的單晶結構考慮成為面心立方體,立方體的八個角為八個鈀原子所占有,六個面的中心部分為六個鈀原子所占有,在這個鈀原子的密集
堆積中,只有在鈀管表面能發生離解的氫原子才能通過,而其它元素的原子和分子,其直徑都大于鈀原子密集堆積的間隙,故不能通過。鈀擴散法純化氫就是利用這個原理,擴散透過鈀管的氫,其純度達
到99.99999%以上。
四、注意事項
硅外延用氫氣純化器在使用時,裝置應放在通風良好,堅固平坦的工作臺上,以防震動,切忌室內氫含量達到燃燒或爆炸極限(不能高于4%),本儀器的控溫部分設有超溫報警功能,當溫度超過所需溫度時,會發出報警聲,應立即停機檢查,以防爐內溫度過高而燒壞鈀管,本儀器使用前必需用原料氣作*置換系統后,才能通電,以防系統內置換不干凈,形成易燃易爆的H2—O2混合氣。