AR-Meta 超表面光場檢測系統(tǒng) |
典型應用領域：
超表面器件 超表面器件在空間上具有復雜的光場調控能力，需要在微米尺度下掃描光場。
超透鏡 受限于設計規(guī)模和微納加工能力，超透鏡難以實現(xiàn)較大口徑。面向折射型透鏡的傳統(tǒng)檢測工具已無法滿足該類器件的光學性質表征需求，針對超透鏡特點設計的檢測平臺應運而生。
微透鏡 口徑在數(shù)百微米以下的微透鏡及陣列，在集成光學中已開始發(fā)揮重要作用，受限于透鏡口徑，當前缺乏商用化的微透鏡光學指標檢測平臺。
AR-Meta 超表面光場檢測 在以上領域的應用得益于如下幾個特點：1.μm 量級測量區(qū)域 AR-Meta 基于 Olympus 商用顯微平臺，配合消除像差的準直及成像光路，實現(xiàn)了 μm 量級超表面器件光場檢測； 2.超過 7 項關鍵指標 圍繞超表面器件及超透鏡領域的研究熱點，AR-Meta 形成了焦距、成像分辨率 (含角向分辨率)、點擴散函數(shù) (PSF)、調制傳遞函數(shù) (MTF)、斯特列爾比 (Strehl Ratio)、數(shù)值孔徑 (N.A.)、偏折效率 (Deflection Efficiency) 等超過 7 項衡量器件光學性質的關鍵指標；3.寬 380~1700nm 譜段 AR-Meta 內部支持兩個譜段：可見和近紅外 (含 850nm,1310nm,1550nm)，并通過高穩(wěn)定切換部件實現(xiàn)了兩者的切換，與之匹配的是可以通過外部接口，引入多種波長的激光光源；4.反射 + 透射 AR-Meta 具有獨立的反射與透射兩套光路，能夠輕松實現(xiàn)反射情況下 0~20mm 縱深，透射情況下 0~2mm 縱深的光場掃描； 5.工程化設計 AR-Meta 在設計中充分考慮了光路切換的穩(wěn)定性，實現(xiàn)了控制的自動化，保障良好用戶體驗；6.除此之外，內秉的線偏振與圓偏振器件，多種濾色片的選擇等，使 AR-Meta 的應用覆蓋了超表面檢測所需要的多數(shù)場合。
| | 復享超表面光場檢測系統(tǒng)的相關參考文獻
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影響因子： 12.712，單位：哈佛大學/工程與應用科學學院，通訊作者：Federico Capasso1
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影響因子：7.143，單位：臺北應用科學研究中心/中央研究院，通訊作者：Din Ping Tsai
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