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專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)
隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺(tái)的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺(tái)階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。
為OLED面板行業(yè)整片測量，超高尺寸鏡片測量，提供全自動(dòng)的原子力顯微鏡計(jì)量解決方案。

專為OLED面板行業(yè)整片測量，LCD測量提供的全自動(dòng)探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì)
Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴(kuò)展了原子力顯微鏡設(shè)備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設(shè)計(jì)平板式探針掃描器）可針對第八代及大于第八代的所有大型平板顯示器進(jìn)行測量。專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì)，*大樣品尺寸可以測2200 mm。

硅片直徑的變化
使用導(dǎo)電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設(shè)備或晶圓片上的設(shè)備提供電流。Park NX-TSH用于帶有導(dǎo)電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進(jìn)行電氣缺陷分析。

Park NX-TSH特點(diǎn)
克服了樣品大小和重量的限制。
Park原子力顯微鏡公司新開發(fā)的探針掃描器結(jié)合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動(dòng)到所需測量的點(diǎn)。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達(dá)到100µm X 100 μm和Z方向可達(dá)到15 μm ，并有靈活的卡盤，以適應(yīng)超過300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤上，連接在機(jī)架上的探針掃描頭移動(dòng)到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時(shí)候樣品大小和重量的限制。

專為*新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì)，*大樣品尺寸可以測到2200 mm.
Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺(tái)的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)，可掃描出高分辨率圖像。
具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導(dǎo)向XY掃描器
XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強(qiáng)度壓電疊層組成，它*小化的面外運(yùn)動(dòng)能提供高度的正交掃描，用*快的響應(yīng)來完成納米尺度上精確樣品掃描。XY 掃描器的每個(gè)方向是都裝有兩個(gè)對稱的低噪聲位置傳感器，在*大的掃描范圍及大樣品掃描時(shí)能發(fā)揮高效的正交性。
具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器
NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號(hào)，可為用戶提供高精度測量。低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號(hào)。 標(biāo)準(zhǔn)Z掃描器由高強(qiáng)度壓電堆驅(qū)動(dòng)，并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo)，具有高共振頻率，可以實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀，*大Z掃描范圍可從15μm擴(kuò)展到40μm。

自動(dòng)測量控制，簡易操作測量更精準(zhǔn)！
NX-TSH配備自動(dòng)化軟件，使用測量程序便可獲得精確的多點(diǎn)分析，并對懸臂梁調(diào)諧、掃描速率、增益和設(shè)定點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置。
Park人性化設(shè)計(jì)的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。
創(chuàng)建新的測量程序其實(shí)很簡單，從開始創(chuàng)建到能夠自動(dòng)化運(yùn)行只需大約10分鐘的時(shí)間，而對創(chuàng)建過的程序進(jìn)行修改的話也只需不到5分鐘。

Park NX-TSH的全自動(dòng)特征:
• 自動(dòng)，半自動(dòng)，手動(dòng)模式三種模式隨時(shí)切換控制
• 提供自動(dòng)化程序的編輯方法
• 實(shí)時(shí)監(jiān)控測量過程
• 自動(dòng)分析所獲得的測量數(shù)據(jù)