目錄:上海西努光學科技有限公司>>工業顯微鏡>>鏡片反射率測定儀>> USPM-RU-W近紅外顯微分光測定儀
奧林巴斯的USPM-RU-W近紅外顯微分光測定儀可以高速&高精細地進行可視光區域至近紅外區域的大范圍波長的分光測定。由于其可以很容易地測定通常的分光光度計所不能測定的細微區域、曲面的反射率,因此zui適用于光學元件與微小的電子部件等產品。
實的測定功能
使用一臺即可進行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測定。
◆測定反射率
測定以物鏡聚光φ17~70μm的微小點的反射率。
◆測定膜厚
活用反射率數據,測定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。
◆測定物體顏色
根據反射率數據顯示XY色度圖、L*a*b色度圖及相關數值。
◆測定透過率
從受臺下部透過φ2mm的平行光,測定平面樣品的透過率。(選配)
◆測定入射角為45度的反射率
從側面向45度面反射φ2mm的平行光,測定其反射率。(選配)
域的高精度&高速測定
◆實現高速測定
使用平面光柵及線傳感器進行全波長同時分光測定,從而實現高速測定。
◆zui適用于測定細小部件、鏡片的反射率
新設計了可以在φ17~70μm的測定區域中進行非接觸測定的物鏡。通常的分光光度計不能進行測定的細小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實現再現性很高的測定。
◆測定反射率時,不需要背面防反射處理
將物鏡與環形照明組合,不需要進行被檢測物背面的防反射處理,就可測定zui薄0.2mm的反射率*。
◆可選擇的膜厚測定方法
USPM-RU-W近紅外顯微分光測定儀根據測定的分光反射率數據進行單層膜或多層膜的膜厚解析。可以根據用途選擇*的測定方法。
:規格 | |||||
| 反射率測定 | 透過率測定*1 | 45度反射測定*1 | ||
名稱 | 近紅外顯微分光測定儀 | 近紅外顯微分光測定儀用 透過測定選配件 | 近紅外顯微分光測定儀用 45度反射測定選配件 | ||
型號 | USPM-RU-W | ||||
測定波長 | 380~1050nm | ||||
測定方法 | 對參照樣品的比較測定 | 對*基準的透過率測定 | 對參照樣品的比較測定 | ||
測定范圍 | 參照下列對物鏡的規格 | 約ø2.0mm | |||
測定 再現性(3σ)*2 | 反射率測定 | 使用10×、20×物鏡時 | ±0.02[%]以下(430-1010nm)、 ±0.2[%]以下(上述以外) | ±1.25[%]以下(430-1010nm)、 ±5.0[%]以下(左側記載除外) | |
使用40×物鏡時 | ±0.05[%]以下(430-950nm)、 ±0.5[%]以下(上述以外) |
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厚膜測定 | ±1% | - | |||
波長顯示分解能 | 1nm | ||||
照明附件 | 鹵素燈光源 JC12V 55W(平均壽命700h) | ||||
位移受臺 | 承載面尺寸:200(W)×200(D)mm 承重:3 kg 工作范圍:(XY) ±40mm, (Z)125mm | ||||
傾斜受臺 | - | 承載面尺寸: 140(W)×140(D)mm 承重: 1 kg 工作范圍:(XT) ±1°, (YT) ±1° | |||
裝置質量 | 主體:約26 kg(PC除外) | 主體:約31 kg(PC除外)*3 | |||
控制電源箱:約6.7kg | |||||
裝置尺寸 | 主體部位:360(W)×446(D)×606(H)mm | 主體部位:360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
控制電源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
電源規格 | 輸入規格:100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
使用環境 | 水平無振動的場所 溫度:15~30℃ 濕度:15~60%RH(無結露) |
*1 選件組件 *2 本社測定條件下的測定 *3 裝配透過率測定套件與45度反射測定套件的總重量為33kg。
對物鏡 | |||
型號 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
倍率 | 10x | 20x | 40x |
NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
測定范圍*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
工作距離 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
樣品的曲率半徑 | ±5mm~ | ±1mm~ | ±1mm~ |
*4 點徑