化工儀器網(wǎng)
資料下載
橢圓偏振的測量
閱讀：1110 發(fā)布時間：2017-12-3實驗項目：
1.了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2.掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
實驗儀器：
橢圓偏振測厚儀 型號：FMD6133
指標(biāo)：
偏振器方位角讀數(shù)范圍：0°-180°
測量范圍：1nm-300nm
測量值：≤1nm
入射角：30°-90°；誤差：≤0.1°
度盤刻度：每格2度
游標(biāo)zui小讀數(shù)：0.05°
光學(xué)中心高度：152mm
工作臺直徑：Φ70mm