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橢圓偏振測厚儀

閱讀:883          發布時間:2017-10-7
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實驗項目:
1.了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2.掌握如何利用設備測試樣品的方法
指標:
偏振器方位角讀數范圍:0°-180°
測量范圍:1nm-300nm
測量值:≤1nm
入射角:30°-90°;誤差:≤0.1°
度盤刻度:每格2 度
游標zui小讀數:0.05°
光學中心高度:152mm
工作臺直徑:Φ70mm
外形尺寸:730mm*230mm*290mm
產品重量:20kg;

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