名稱：主動消磁-電磁屏蔽-電鏡消磁器-SC-26

型號：SC-26

品牌：Spicer Consulting

描述：SC26是第四代磁場抵消系統，被優化用于抵消300mm 晶圓廠里晶圓運輸工具的高頻磁場，通常在9kHz.

產品介紹：

SC26是第四代磁場抵消系統，被優化用于抵消300mm 晶圓廠里晶圓運輸工具的高頻磁場，通常在9kHz。

SC26是SC20Fast系統的升級版，該系統在晶圓廠的安 裝數量*已超過200臺。

SC26的工作原理與其他消磁系統類似。消磁方法是產 生一個寬帶模擬負反饋。嵌入式微型計算機控制系統并將測量磁場進行數字化處理，但不屬于反饋回路。

SC26在電子束設備附件中的參考安裝如圖4所示。控制 單元未顯示。消磁電纜顯示為紅色、綠色和藍色。此參考安裝用于SC26系統性能。200kHz 'Sensor SC26/AC' (圖 6）測量磁場，控制單元對測量數據進行濾波處理，并以正確的振幅和相位通過電纜驅動電流，使測量磁場為零。

SC26系統的操作需要“Sensor SC26/AC”。SC26控制單元有兩個傳感器的輸入端。它將與一個或兩個傳感器工作。當它在兩個輸入端檢測到傳感器時，SC26啟用混頻器功能。

為了消除直流磁場，有必要通過傳感器組合單元為每個使用的輸入端添加一個“傳感器SC24/DC+AC”。然后，SC26將啟用直流抵消功能，并在觸摸屏上顯示直 流磁場。DC消除功能很復雜，但有時是必要的。

SC26無法消除電子束設備附件內的所有磁場。它在磁 場傳感器周圍創建一個區域，大幅度削減磁場。該區域的大小取決于周圍磁場的均勻性、磁場電纜的設計以及電子束設備的金屬結構對磁場的扭曲程度。主動消磁-電磁屏蔽-電鏡消磁器-SC-26

產品特點：

· 改善外部磁場干擾以達到電子束儀器對磁場規格的要求

· 實時寬帶消除從DC到＞9kHz的磁場

·  在10μs之內適應磁場幅度和頻率變化

· 觸摸屏智能用戶界面，具有自動設定和直流復位功能

· 面板同時顯示交流及直流磁場數值并可選擇不同單位( Tesla或 Gauss)

· 混合式雙傳感器，可在EM模塊里產生一個虛擬感應器

· 內置測試場發生器

· 具備以太網和USB端口，以供遠程操作及監視