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晶圓搬送
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更新時間:2021-01-26 18:57:31瀏覽次數(shù):2208
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晶圓搬送對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
人機工程學(xué)設(shè)計,操作方便
•可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
•分別對應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。
晶圓搬送堅固、可靠和安全傳送
•延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
•薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
•宏觀觀察位置的*化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。
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