ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ裝置?真空乾燥プロセス?大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回転數自動制御機能?通信機能等の付加価値を搭載した獨立設置型ドライ真空ポンプです。

特長

型式：ESA15-D／ESA25-D／ESA70W（-D）／ESA70WN（-D）／
ESA80W-HDF／ESA80WN-HDF／ESA100W／ESA100WN
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（1)泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重芯較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重芯低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重芯較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。